深圳立儀科技有限公司

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膜厚儀

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HM5-160全自動檢測系統

1、高速度、高精度測量系統。 2、最大160mm*160mm范圍自動測量。 3、重復測量精度≦0.5μm。 4、適用高反光、高透光材料。 5、數據重復測量的一致性。 6、測量膜厚、線寬、平面度等。
HM-S100半自動檢測系統

1、非接觸光學測量系統。 2、應對各種材質，重復測量精度≦0.5μm。 3、高速采樣，最快周期20μs。 4、強大的CPK統計功能。 5、吸附系統及高精度位移系統。 6、測量輪廓、斷差、槽深、高度等。

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